其中，基础工艺和核心工艺的改进、提高及其发展趋势具代表性。

为适应物联网和无线传感器网络发展的需要，一部分测力与称重传感器正由传统型向全新型的小型化、多功能、低功耗、低成本方向发展，其技术难度之一是要求基础工艺提供微型化、高阻值电阻应变计。为研制大阻值，低功耗电阻应变计，美国 V-MM 公司研究轧制出 0.00006～0.00008英寸（1.5～2μm）厚的应变电阻合金箔材，并应用此箔材研制出微型高阻单轴和全桥电阻应变计。

微型高阻单轴电阻应变计的特点是：采用带有温度自补偿性能的卡玛合金制造敏感栅，基底材料与普通尺寸应变计相同；敏感栅的总体尺寸很小，可以做到 1×1mm 和 0.5×0.5mm，而且仍能手工

焊接；应变计电阻值可达 5kΩ，误差 0.2%。微型高阻全桥电阻应变计的特点是：采用带温度自补偿性能的卡玛合金制造敏感栅，基底材料与标准尺寸应变计相同；也有用于剪应力测量的敏感栅为45°方向的全桥电阻应变计；基底尺寸是 3.8mm×4.0mm，电阻值为 5000Ω±0.2%。 称重传感器核心制造工艺中重要的环节，是将电阻应变计牢固的粘贴在弹性元件上，尽管创造各种条件使其固化非常完全，但在工作时也会出现性能波动。美国 MS 公司创造了在高温下，将半导体电阻应变计与无机玻璃熔于小型弹性元件上，制成低成本新型称重传感器。这种无机玻璃粘贴电阻应变计的新技术与新工艺，消除了传统的用环氧树脂和酚醛环氧树脂粘贴电阻应变计所带来

的不稳定性，极大的提高了称重传感器的长期稳定性和工作可靠性，经过一千万周期以上的测试，其寿命基本是无限的。 称重传感器的原理和制造工艺决定了，在其生产工艺流程中必然产生一些缺陷，因为许多工序为人工操作、手动控制，人为的因素对产品质量影响较大。        为了使生产的每一个产品都符合国家标准的要求，保证大批量生产称重传感器的质量，大限度的排除人为的因素对产品质量影响。称重

传感器制造工艺的发展趋势是：在生产工艺流程中尽量增加以计算机控制为主的半自动化或自动化工序。并将网络信息化技术应用于称重传感器的生产工艺流程中，实现工艺流程的网络化。即通过

通讯线路和设备把各生产工序具有独立操作和控制功能的计算机系统相互连接起来，在网络软件管理下，实现信息的收集、存储和处理进入 21 世纪以来，威世精密集团北京特迪亚公司、中航电测仪器股份有限公司、宁波柯力传感技术股份有限公司等，都将网络信息化技术应用于称重传感器生产工艺流程中，基本实现了工艺流程的网络化。

在以计算机控制为中心的网络化生产工艺流程中，单道工序的半自动化和自动化是生产工艺流程网络化的基础。20 世纪 90 年代以来，称重传感器制造工艺流程中，单道工序的半自动化和自动化改造成果主要有：超声波水洗技术与工艺；全自动机器人粘贴电阻应变计和辅助粘贴电阻应变计系统；固化、后固化工艺的隧道式加温控温烘道，控温精度高、工作段温度均匀性好，固化、后固化完成后应变胶粘剂物理和机械性能的均一性好；高效智能零点、灵敏度温度补偿测试系统；快速全自动在线检测工艺和多台叠加式力标准机同时工作的无缝链接自动检测称重传感器生产线；将卣素引入高聚物中或用硅氧键嵌入高聚物中的高度防潮耐水密封胶密封新工艺，以及采用含氟聚酰亚

胺、含氟环氧树脂、含氟丙烯酸脂，硅氧/亚酰胺共聚物、苯基有机硅和硅化苯乙烯为基础材料制作密封胶的新防护密封工艺；全自动稳定性处理工艺；动态称重传感器的机械阻尼、油阻尼、电子振荡阻尼工艺；高温称重传感器的高温电路补偿及高温密封新工艺等。

大批量生产称重传感器，多对生产工艺流程采取统计制程管理。即利用统计学原理，对生产工艺全过程中的产品质量进行控制和管理，以达到尽可能第一次就使产品符合国家标准和国家检定规程要求的目的。统计制程管理的核心是科学、合理的进行抽样试验与测试；把生产工艺流程、产品质量控制、工艺装备利用联系在一起，提高生产过程控制能力；快速分析制程出现的问题和迅速采取措施保证制程稳定，大限度的减小产品的不合格率。统计制程管理的特点是：

①经济性：采用抽样检验法，产品参与检测、试验的项目和次数科学合理，使生产工艺流程稳定，大限度的减少产品的不合格率；

②预警性：一旦生产工艺流程出现异常趋势，可立即采取对策，预防批量不合格。一般都是根据工艺理论和实践经验提供控制资料。

③科学性：把工艺过程、质量控制、装备利用联系在一起，提高生产过程控制能力和快速分辨共同和特殊原因的评估能力；

④高效性：统计制程控制，解决了长期困扰的大批量生产的质量检验问题，改善了评估方法，减少了报表和数据分析，保证了成本、质量和交货期。 在称重传感器生产工艺流程中，实现整个生产过程信息、通信、自动化技术的横向与纵向真正的无缝一体化，是大批量生产工艺流程发展的必然趋势。